加工范围从几十微米到几百微米。。

1.
、
、、X\Y轴：IC系列有铁芯电机
，，，重复精度±1μm，，，，定位精度3μm。。。。

2
、、
、、Z 轴：AKM伺服电机+丝杆+光栅闭环
。。。。重复定位±2μm,定位精度5μm。。。
。

3、、、AKD系列驱动器

此类产品会用到IL系列直线电机等产品
。。。